半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用

在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，騰景科技實現(xiàn)了精密棱鏡模組的批量生產(chǎn)及紫外激光勻化器小批量生產(chǎn)；基于客戶的定制化需求，將光學(xué)元件裝配、集成為可實現(xiàn)特定光學(xué)性能的光學(xué)模組，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備光學(xué)系統(tǒng)。

精密光學(xué)系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備的重要組成，覆蓋半導(dǎo)體制造全流程，對于制造工藝以及良率控制有重大影響，為半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件系統(tǒng)。我國正加速半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代進(jìn)程，相關(guān)領(lǐng)域技術(shù)、產(chǎn)品的研究開發(fā)及量產(chǎn)將為精密光學(xué)市場帶來更多的業(yè)務(wù)發(fā)展機會。